超高真空扩散泵油极限真空测试条件的探讨

摘要

探讨了274、275超高真空扩散泵油极限真空测试过程中,除气、循环冷却水温度、冷阱及环境温度等因素对测试结果的影响.结果表明,冷阱对测试结果影响不大,除气、循环冷却水温度及环境温度对测试结果影响极大,必须彻底除气同时将温度控制在10～25 ℃,才能准确测试出极限真空度.