浅谈硅烷/锆化工艺设备前期规划

摘要

近年来,随着国家对于环保的重视程度越来越高,新建线体前处理技术采用硅烷/锆化工艺已是行业趋势,从规划角度简单描述硅烷/锆化工艺设备和传统磷化工艺设备的不同,归纳总结目前行业内硅烷/锆化设备的通用性设计及优势。