微电子化学试剂

摘要

大规模集成电路单晶硅片制作过程中需要大量的相关材料和化学品；其中需要大量的高纯和超净化学试剂，即微电子化学试剂，又称MOS试剂。本文对微电子化学试剂的市场及其开发应用的进展作了简单介绍。