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杨萍;
无;
集成电路; 磷硅玻璃; 钝化; 铜;
机译:用于ULSI互连的低介电常数a-SiCOF膜的铜金属化
机译:乙二胺络合浴中无空隙铜的电沉积,用于ULSI金属化
机译:适用于ULSI及其后续产品的铜金属化
机译:超临界流体沉积超薄铜膜制备的ULSI金属化
机译:用于ULSI应用的IC金属化系统和铜金属化中电迁移故障的建模和表征。
机译:具有铜(ii)和锌(ii)中心的纳米环:迫使铜卟啉结合异金属化低聚物中的轴向配体
机译:Ulsi金属化乙二胺络合物浴铜电沉积。
机译:用于亚半微米ULsI结构的铜电镀工艺
机译:用于ULSI金属化的铜技术
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