微制造技术开放创新实验平台的研究与探讨

摘要

微制造技术包括光刻、薄膜沉积、等离子体刻蚀、键合等技术,是集成电路制造、微机电系统、微光学等的关键技术。微制造设备昂贵,实验室为恒温恒湿超净环境,对人员进出要求严格,往往无法为教学服务。文章研究探讨了如何利用研究型实验室的硬件资源和科研背景,通过网络平台、视频教程、创新实验等形式建立面向全校各相关专业的开放平台,为因微制造相关专业实践教学资源不足,而使得相关实验室的科研设备、科研资源无法为教学服务这一难题探寻一条切实可行的解决途径。