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韩鑫儒; 张燚;
陕西有色榆林煤业有限公司;
测量工作; 必要精度; 巷道贯通; 陀螺定向; 精度指标;
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机译:具有分辨率增强特征的装置和方法,用于提高必要的化学机械抛光压力的转换精度,以强制通过抛光头到晶圆来施加压力
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