用于表面形貌测量的位移传感器

摘要

用于表面形貌测量的位移传感器，固定部分由壳体内的激光器，偏振分光镜，λ／4波片，位移装置及与其相联接的物镜，聚焦透镜，光电转换器及自动聚焦控制电路组成；可拆卸测头包括触针－反射镜测杆；测量精度高，工作稳定可靠，使用灵活，在一台仪器上同时能进行接触和非接触测量，降低仪器成本，可广泛用于研究和工业现场。