FSI收到国际客户对其ZETA的继续订货

摘要

FSI近期已经收到对其300-mm ZETA喷雾式清洗系统的继续订货。一家位于台湾地区的先进集成电路制造商将再次采购这套系统用于90nm技术节点的前段(FEOL)表面处理。另外一家主流的微处理器制造商继续定购的ZETA系统将用于后道应用。该系统所展示的性能能够满足客户对工艺性能的急迫要求，它与单晶圆湿法清洗系统相比明显地消耗更少的化学品；而与其它竞争性的浸泡式机台相比，ZETA还具有更少资本投入和更小占地面积的附加优点。