射频补偿朗缪尔探针等离子体诊断系统

摘要

一、项目简介、特点与技术指标 1.项目简介 目前,等离子体科学和工程技术越来越广泛地被应用到国民经济的各个领域中.特别是低温非平衡等离子体已经广泛应用在半导体芯片的生产、功能薄膜的物理化学沉积和溅射、材料的切割和焊接、生物医疗和航空航天等各个领域.