表面等离激元光栅在高灵敏红外探测器中的应用

摘要

金属中大量自由电子可以与电磁波耦合在金属表面形成表面等离激元（Surface Plasmon Polariton, SPP）,能够将光辐射能量有效耦合并束缚在金属表面,在近场范围内形成显著的场增强效应.基于金属周期性结构形成的表面等离激元光栅在利用近场场增强效应的同时,可以灵活设计共振波长,因而在高灵敏红外探测器研发中得到广泛应用.采用半导体双量子阱（Quantum Well, QW）结构的电荷敏感型红外光晶体管探测器（Charge Sensitive Infrared Phototransistor, CSIP）是一种新型的高灵敏度红外探测器,它利用光敏浮栅（Photo-Gating）效应实现红外光电转换过程的倍增效应,因而具有波长可调、灵敏度高、光响应率高等优点.本文综述了表面等离激元光栅在CSIP红外探测器件中的设计和应用的研究进展,阐述金属孔阵列光栅的光耦合物理机制和场增强效果、偏振转换效率等特性,通过设计优化的表面等离激元耦合结构,提升CSIP器件光耦合量子效率,然后阐述了CSIP红外光探测器的生长结构、工艺流程,结合荧光谱测试、电流-电压（Current-Voltage, I-V）测试、慢步进扫描光谱测试等技术展示CSIP红外光探测器光电探测性能.最后进一步展望了SPP耦合CSIP高灵敏红外探测器的未来发展和应用研究趋势.