基于专利文献分析的MEMS麦克风技术发展趋势

摘要

随着MEMS技术的快速发展,MEMS麦克风由于其优良的声学性能,高可靠性及可回流焊接等性越来越广泛地应用到智能手机和可穿戴设备中。中国是国内外MEMS麦克风公司竞争的高地,MEMS公司针对各自的技术特点,开始在中国开展MEMS麦克风的专利战略布局。通过对MEMS麦克风专利文献分析发现,MEMS麦克风的技术发展趋势逐渐朝着封装结构微型化,数字信号低功耗和人机互动智能化的方向转变。