LaTiO3/SiO2混合薄膜性能研究

摘要

混合薄膜是改变薄膜的性能行之有效的方法.本文在衬底为K9基底上采用双源共蒸方式制备了LaTiO3/SiO2混合膜,并进行了薄膜折射率的测试研究.实验结果表明:沉积温度175℃,束流110mA,通氧量4sccm,阻蒸电流100mA沉积条件下制备的LaTiO3/SiO2混合膜折射率为正常色散,折射率在1064nm处为1.82,低于LaTiO3薄膜的1.91;波长在450～1600nm的消光系数小于10-4,混合薄膜具有较好的光学透明性.