低温共烧陶瓷内埋式电感性能分析

摘要

本文提出一种设计和评量低温共烧陶瓷电感性能的方法.低温共烧陶瓷技术已迅速成为许多射频领域的关键技术之一,文中采用低温共烧陶瓷工艺技术,设计出一组电感,同时从电感的不同结构入手,诸如:电感结构(共面设计、位移设计、多层设计)、线圈宽度、线圈间距(从0.2nH到11nH)、线圈圈数等分析了电感结构参数对电感性能的影响.