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苏东楠;
长春理工大学光电信息学院 吉林长春 130114;
磨粒流机床; 液压系统; 设计;
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机译:并联机床标定中的不确定度传播;精密工程,美国精密工程学会(aspE)
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机译:用于抛光半导体晶片的抛光工具包括支撑件和/或支撑件以及由包含磨粒和/或磨粒的毡制成的抛光材料。
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