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对微机电系统发展趋势和面临挑战的思考

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摘要

近年来,微机电系统在技术进步和应用数量上有了长足的发展.介绍了微机电系统的特点,分析了微机电系统的发展趋势,对微机电系统面临的挑战进行了探讨.

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来源
《科技情报开发与经济》|2006年第24期|180-181|共2页
作者
张栋;
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作者单位

中北大学,山西太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机电一体化;
关键词
前沿学科; 微机电系统; 发展趋势;
入库时间 2022-08-17 10:19:26

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