我国集成电路核心装备研发与产业化取得重大突破

摘要

国家863计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”于近日通过了科技部与北京市组织的项目验收。业主企业北京北方微电子公司和北京中科信公司分别与中芯国际公司签订了刻蚀机和离子注入机的批量采购合同。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得了重大突破，为“十一五”实施“国家中长期科技发展规划纲要》所确定的“集成电路制造装备与成套工艺”重大专项奠定了基础。