TFT-LCD曝光工艺OPC技术的研究与应用

摘要

曝光工艺技术在TFT-LCD生产制造中担当着举足轻重的角色,文章详细地介绍了OPC技术的基本概念及应用,并且详细地说明了OPC技术如何引用到TFT-LCD曝光工艺生产中.最后展示了OPC技术成功引入到曝光工艺生产中的成果.OPC技术极大地提高了曝光工艺的解析能力,提升了产品竞争力,有着极高的经济价值,也为相关领域的生产和研究提供了一定的参考.