基于像素偏振片阵列的实时动态相位测量技术

摘要

基于像素偏振片阵列的实时相移干涉计量技术可以实现实时相位测量，并降低干涉计量实验中的防振要求．本文采用电子束曝光技术制备了单元间距为7．4μm，像素数为320～240的基于铝纳米光栅的像素偏振片阵列．铝纳米光栅周期为140nm，每相邻2～2单元的透偏振方向分别为0°，45°，90°，和135°．将像素偏振片阵列集成到感光元件上，并将其应用于实时相移干涉计量．采用线性插值的方法由采集的单帧图像获得4幅不同相移量时的干涉条纹图，从而解得物光波的位相信息．采用上述装置成功测量了由温度变化引起的相位动态变化，证实了该方法在实时动态相位测量应用的可行性．