层状二硫化钼纳米薄膜的制备及其光学特性

摘要

通过化学气相沉积法（CVD），以三氧化钼（MoO3）粉末和硫（S）粉末作为反应物，将二硫化钼（Mos2）纳米薄膜直接沉积到石英衬底上．通过光学显微镜、扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）对薄膜的表面形貌进行了观察．发现所生长的MoS2薄膜为纳米层状结构．通过拉曼光谱和光致发光光谱对生长的薄膜进行结构及光学性能分析．结果表明生长的纳米薄膜中有单层、双层和三层MoS2薄膜的存在，同时在单层、双层和三层MoS2薄膜中观察到了光致发光现象．并分析解释了MoS2纳米薄膜从体材料向单层转变时能带结构的变化．