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Herbert Gross; 杨盈莹;
[1]不详;
[2]中国科学院半导体研究所;
光学系统; 像差理论; 手册; 校正; 图像质量标准; 照明系统; 修正方法; 质量管理;
机译:使用自适应光学系统校正大块金属玻璃的过程中表面粗糙度,以进行像差校正
机译:变形光学系统的像差III:环形变形系统的主要像差理论
机译:变形光学系统的像差。二。圆柱变形系统的主像差理论
机译:基于像差理论的透射型光学系统轴向失调校正方法
机译:平面对称光学系统中的色差校正和偏振像差分析的自适应分散公式
机译:基于优化的基于模型的波前无传感器自适应光学系统对高速飞机的共形窗口进行动态像差校正
机译:自适应光学系统中基于有限致动器可变形镜的位置分组算法用于高精度波前像差校正
机译:分布式像差校正的多共轭自适应光学系统的设计与研究进展
机译:2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译:校正光学系统像差的方法和投影由像差校正光学系统提供的曝光设备
机译:像差校正光学系统和具有该光学系统的校正装置
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