硅烷废气焚烧处理系统与资源化利用

摘要

文章以某企业硅烷废气焚烧处理系统为研究对象,介绍了先进的硅烷处理工艺,分析了系统在不同炉膛温度、停留时间、燃料供热下的净化效率,核算了系统余热回收、能源节约、资源转换、现有资源合理使用的经济数值。经过分析,两种供热方式下,炉膛温度850-900℃、停留时间1.5s左右,本系统硅烷等有机物净化效率较高,达98%以上;运行期间系统压力波动小、防堵塞能力强;具有85%以上余热回收效率,在节能降耗、资源化利用方面优势显著;合理使用厂区现有沼气,减少天然气的消耗,降低运行费用、提高经济效益。