高灵敏度6电极平行板电容传感器的理论分析与数值模拟

摘要

为克服传统薄膜厚度测量平行板电容传感器实验中灵敏度低的问题,提出具有较高厚度测量灵敏度的6电极平行板电容传感器。将理论分析与计算机数值模拟相结合,利用保角变换法、格林函数法和软件Matlab,讨论传统平行板电容传感器与6电极平行板电容传感器的电场,给出2种传感器的电容量表达式;在此基础上比较2种平行板电容传感器的灵敏度,结合软件Matlab数值模拟结果,得出6电极平行板电容传感器的灵敏度远高于传统平行板电容传感器的结论,并指出提升6电极平行板电容传感器厚度测量灵敏度的途径。