电子厂房洁净室空调设计

摘要

根据电子芯片的工艺特点,结合重庆市某12寸硅片加工厂房,从空调系统方案选择,空调负荷计算,空调风量计算,空调水系统设计等方面介绍了电子厂房洁净室的空调设计,并总结了设计过程中的一些要点,可为类似工程提供参考。