硅晶切割砂绿色再生工艺装备的运行特性研究

摘要

针对硅晶切割过程中产生的切割废砂浆的资源化回收问题,建立了每小时处理1t废砂饼的绿色再生工艺装备.通过工业试运行,实现了水资源的循环利用,回收的硅晶切割砂纯度达到97％,6～11 μm粒径切割砂的集中度大于78％,6μm以上的切割砂全部实现了回收.该工艺过程不消耗酸碱,节约了化学资源的消耗,从源头上消除了废酸、废碱的污染,是回收硅晶切割砂的一种理想工艺装备.