用于微波和毫米波的铁氧体膜片

摘要

一、引言目前在铁氧体膜片材料及器件设计上已取得了进展。铁氧体膜片的优势比以往任何时候更显著,而且我们有把握实现这些优势。本文主要叙述单晶铁氧体膜片,特别是钇铁柘榴石(YIG)。采用这些膜片的器件已快投入实际应用。在比较成熟的YIG膜片基础上,本文还讨论了尖晶石及六角晶系铁氧体,多晶膜片以及铁氧体与半导体材料混合的单块结构的前景。二、单晶YIG膜片单晶膜片一般是采用外延工艺制备,即在预先备好的晶体基片表面上定向生长晶体。早期外延铁氧体膜片的生长是采用化学气相淀积方法(CVD)。