纳米级光纤位移传感器

摘要

本文介绍一种基于波前分离干涉效应的光纤位移传感器,利用高斯光束在狭小空间内的传播,反射及干涉等现象,测量待测物表面相对于光纤轴心的位移变化。此种光纤位移传感器的特点,是对于光透性很强的待测物表面,依然可得到很清楚的干涉讯号,因此是一种可适用于多种物质表面的纳米级位移传感技术。初步实验结果显示此位移传感器的分辨率可达3纳米。进一步的改进与其在空间加速度计的测量应用亦在文中讨论之。