应用纳米级金刚石抛光亚纳米级光滑表面

摘要

用爆炸法合成的纳米级金刚石是一种新型纳米材料,其物理机械特性与普通亚微米级金刚石微粉有很大差别.我们使用这种材料配制的抛光液对YVO4晶体进行了超精密抛光的初步实验,获得了具有较低表面粗糙度(＜1 nm)的表面,发现了纳米金刚石作为抛光材料的独特之处.本文描述了实验结果,分析了抛光表面,并总结了纳米金刚石粉的抛光特性,提出了关于抛光中的材料去除过程的见解.