河南大学,特种功能材料重点实验室,开封,475001;
中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,中国科学院深圳先进技术研究院,深圳,518067;
中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,中国科学院深圳先进技术研究院,深圳,518067;
中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,中国科学院深圳先进技术研究院,深圳,518067;
香港中文大学精密工程研究所,香港,999077;
中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所,中国科学院深圳先进技术研究院,深圳,518067;
香港中文大学精密工程研究所,香港,999077;
河南大学,特种功能材料重点实验室,开封,475001;