利用传热原理检测流量

摘要

热式流量计是利用热学传热原理检测流量的仪表（利用流体通道内或管壁外与加热体之间的热量交换关系来测流量）。20世纪60年代美国在为宇航业所需要的气体提供流量控制时，开发出了热式质量流量计产品，其后广泛应用于半导体工业制造设备上，得到很大发展，而后又扩展到其他工业领域。