控制光具尺寸变化

摘要

理想的光具(底片)是经过精细设计，通过所采用的CAD／CAM先进系统，光绘系统和所应用的高分辩的光致抗蚀剂，进而转移至铜的表面或用于阻焊底片(光具)等作业工序，光具没有发生任何变形。但从实际应用上，理想的光具(底片)是不存在的。它将会受到各种因素的直接或简接的影响。