Effect of Gas Sources on the Deposition of Nano-Crystalline Diamond Films Prepared by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

著录项

• 来源
  《等离子体科学和技术：英文版》 |2010年第006期|P.761-764|共4页
• 作者

  WENG Jun; XIONG Liwei; WANG Jianhua; MAN Weidong; CHEN Guanhu;

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• 作者单位

  ^pLaboratory;

  of;

  Plasma;

  Chemistry;

  and;

  Advanced;

  Materials;

  of;

  Hubei;

  Province,Wuhan;

  Institute;

  of;

  Technology,;

  Wuhan;

  430073,;

  China;

  ^pof;

  Plasma;

  Physics,;

  Chinese;

  Academy;

  of;

  Sciences,;

  Hefei;

  230031,;

  China;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  等离子体增强化学气相沉积法; 薄膜沉积; 纳米微晶; 微波; 非传染性疾病; 表面粗糙度; 制备; 钻石;

  机译：等离子体增强化学气相沉积法;薄膜沉积;纳米微晶;微波;非传染性疾病;表面粗糙度;制备;钻石;