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马兵;
无;
高速钢; 氮离子; PIII; 离子植入;
机译:螺旋形钛植入物上的金属等离子体浸没离子植入和沉积(MePIIID):离子源,离子剂量和加速电压对表面化学和形态的影响。
机译:等离子体浸没离子注入氮对脉冲偏压和氮压对钢基底氮分布的影响
机译:用于等离子体限制和低溅射氮等离子体浸没离子注入的金属圆柱筛(MCS)
机译:由甲烷等离子体的等离子体浸没离子注入等离子体浸渍离子植入形成的SiC_x:H膜的组成和结构
机译:通过等离子体注入氧气和等离子体浸没离子注入进行分离,以形成绝缘体上硅。
机译:等离子体浸没离子注入技术对金刚石中氮空位色中心浅层的工程化
机译:要么现在,要么别做。基于等离子体的三维表面改性和方法的离子植入。等离子体浸没离子植入等离子体源的发展。
机译:用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器,与数值模拟的比较和噪声机制的研究
机译:等离子体浸没离子植入过程的植入前或植入后等离子体处理
机译:浸没式等离子体电极,浸没式等离子体产生装置和浸没式等离子体产生方法
机译:用于金属等离子体浸没离子注入和金属等离子体浸没离子沉积的设备和方法
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