激光剥蚀-电感耦合等离子体原子发射光谱法分析金属材料镀层

摘要

应用激光剥蚀(LA)采样与电感耦合等离子体原子发射光谱法联用技术对6种代表性样品进行了镀层分析,测得了镀层和基体的组分以及镀层的厚度等数据。以信号强度对时间作图得到时间分辨图。根据在一定时间段内采集到的镀层元素与基体元素的信号强度的变化可判断镀层与基体的分界处,并通过分辨图中出现镀层元素信号的持续时间按公式计算镀层的厚度。在激光剥蚀操作中,对其他条件如激光能量水平、脉冲频率、剥蚀孔径及载气流量等也进行了优化选择。本方法测得的6件样品的镀层厚度数据与金相显微镜目测法所得结果相符。