含钛高熵合金中氮元素的电子探针微区分析技术

摘要

电子探针微区分析技术在应用ZAF修正法(原子序数修正Z、吸收修正A、荧光修正F)定量分析含钛高熵合金中氮元素的含量时,氮元素会因为受到钛元素特征X射线的干扰而存在测不准的情况。通过对标准样品Ti,BN,TiN元素含量的测试计算出干扰峰校正因子α,然后利用该因子对ZAF测试结果进行修正。结果表明:干扰峰校正法能够准确测量含钛高熵合金析出相中氮元素的含量。该方法也可以在分析其他存在干扰峰的样品中推广应用。