气相色谱-火焰光度法测定工作场所空气中六氟化硫

摘要

六氟化硫是一种无色无味、不可燃的人造惰性气体[1],具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能,被广泛应用于微电子技术、金属冶炼、航空航天、医疗、化工等领域[2]。六氟化硫本身无毒,在电气设备中经电晕、火花及电弧放电作用会产生多种有毒、腐蚀性气体[3]。六氟化硫的密度大约是空气的5倍,空气中六氟化硫含量过大会出现使人窒息的危险[4].