火焰原子吸收光谱法测定固态磷扩散源中钾钠

摘要

大规模集成电路用磷扩散源,是国际上70年代发展起来的新型扩散源材料。自1980年由中国建筑材料科学研究院研制成功固态磷扩散源。磷扩散源中主成分P_2O_5、Al_2O_3的量分别为70.68％、10.76％,杂质K_2O、Na_2O的含量均小于0.05％。至今,未见有关固态磷扩散源中杂质及主成分化学分析的文献。查得唯一文献是对液态磷源(PCl_3、POCl_3中杂质元素的发射光谱分析。