中红外半导体激光器腔面膜的研究现状

摘要

3~5 µm波段是重要的大气窗口,该波段内的4.6 µm半导体激光器广泛应用于痕量气体检测、自由空间光通信和定向红外对抗等领域。随着4.6 µm半导体激光器应用领域的不断拓展,对器件的性能要求越来越高。腔面镀膜是半导体激光器的一个重要但是相对薄弱的器件工艺。随着半导体激光器输出光功率的提升,以及波长向中远红外推进,具有抗激光损伤和高稳定性的光学薄膜成为制约半导体激光器进一步发展的主要因素之一。薄膜的激光损伤阈值、环境稳定性、宽带隙、应力影响、吸收损耗、散射损耗、机械强度等因素都会影响薄膜在激光器中的性能。本文主要总结了4.6 μm波段附近半导体激光器腔面薄膜的报道。