基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试

摘要

为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型:静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳米梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型。利用基于显微激光多普勒的纳结构离面振动测试系统,对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试,测试结果验证了建模的正确性,同时对NENS加工工艺进行了评价和表征。