19.5nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

摘要

基于微通道板 (MCP)探测器件设计一套成像系统 ,用于对波长为 19.5 nm的极紫外 (EUV)光进行成像。结果获得了宽度为 3mm的狭缝的像 ,实验测得 175 μm的成像系统的空间分辨率。并分析了影响系统分辨率的因素及为提高系统分辨率所应采取的措施。