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周静; 徐大雄; 陈宝钦; 龙品;
北京邮电大学应用科技系;
中科院微电子中心研究部;
相移光刻技术; 边缘增锐型; 光学器件;
机译:电子束光刻技术引起的线边缘粗糙度对50 nm技术的N型金属氧化物半导体晶体管电特性影响的三维模拟
机译:多步传质控制溶解产生的异常腔体形状:使用氧化膜激光光刻技术在钛上进行数值模拟和实验研究
机译:铸造模具充型过程的高效数值模拟技术研究
机译:使用相移掩模在高数值孔径光刻中表征偏振照明。
机译:使用锐钛矿-金红石转变的先进扫描探针光刻技术以产生局部化的TiO2纳米棒
机译:木材刀具敏感锐度和机械锐度的量化研究。七,刀口边缘形状对木工刨床无盖铁日本平面锐度的影响
机译:通过高纵横比,高边缘锐度金属制造技术生产微型执行器
机译:制造反射性光学元件的方法,反射性光学元件,EUV光刻技术以及操作光学元件和EUV光刻技术的方法,确定相移的方法,确定方法和层的方法
机译:紫外光刻技术的相移光刻技术及其使用的系统
机译:用于高透射率衰减型相移掩模的反光刻技术
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