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张丽琼; 李岩;
清华大学精密仪器与机械学系;
精密测试技术及仪器国家重点实验室;
北京100084;
运动线圈; 外差干涉; 绝对距离; 折叠Fabry-Perot(F-P)腔;
机译:基于激光干涉测量的低成本压电位移估计技术在AFM扫描仪中进行激光干涉测量的应用
机译:激光干涉仪测量微小线性位移和角位移的方法的数值研究
机译:用激光干涉仪测量线性和角位移的方法的数值研究
机译:实时位移测量的高精度激光二极管干涉仪的干涉测量及其标定研究
机译:具有纳米分辨率的基于激光干涉测量的位移传感器的设计和验证。
机译:基于横向扫描白色光干涉测量的集成散斑的位移测量
机译:演示位移和频率无噪声激光 使用双向mach-Zehnder干涉仪的干涉测量
机译:激光干涉法测量裂纹表面位移疲劳裂纹延迟的初步研究。
机译:通过使用参考激光束和测量激光束形成的相干图案来测量目标物体位移的激光干涉仪,以及使用该干涉仪的位移测量系统
机译:激光干涉位移测量装置及激光干涉位移测量方法
机译:用于二频激光干涉仪的位移测量的非线性误差校正方法和相角测量方法以及使用该方法的位移测量系统
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