基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器及脉冲光能量测量方法

摘要

本发明提供的是一种基于法布里珀罗腔干涉测量脉冲激光能量传感器及脉冲光能量测量方法。首先，可调谐激光光源发出波长线性变化的信号光通过单模光纤接入到干涉腔中，从单模光纤发出的光被镀有银的铝制薄片反射并与入射信号光发生干涉，干涉光信号通过单模光纤导入到光谱仪中进行信号检测；其次，被检测的脉冲激光通过光纤准值镜耦合到单模光纤中，脉冲激光从光纤尖端射出时会产生力学效应，铝片在脉冲冲击力作用下发生形变而压缩干涉腔的长度；最后通过光谱仪得到的干涉吸收峰与初始条件下的峰值位置进行对比分析，确定被检测脉冲激光的能量。本测量装置具有制备工艺简单、结构尺寸小、稳定性好、测量精度高等优点。