半导体激光器的解理面镀膜及其对激光器特性的影响

摘要

使用激光器本身发出的荧光监控膜层厚度的方法,我们在GaAlAs—GaAs DH激光器的解理面上镀成1/4、1/2、3/4波长的Al2O3与ZrO2膜层。其中1/4、3/4波长膜层使解理面反射率下降1%左右。解理面镀1/4与3/4波长膜的半导体激光器的阈值电流升高,外微分量子效率增加,电流—光功率曲线上的扭折向高功率方向移动并且软化。镀1/2波长膜的激光器特性基本不变。此外,镀膜还可提高激光器的寿命。用镀有1/4波长膜的激光器组成外色散腔获得单长腔纵模运转,单长腔纵模线宽小于150MHz。