双频激光干涉的一些应用

摘要

本文讨论了遥置双频激光单光束干涉仪、平面镜干涉仪的工作原理,并介绍了单光束干涉仪在测振和平面镜干涉仪在x-y精密定位台上的应用。最后以三座标机床为例介绍了双频激光干涉仪的多路测量问题。