探究四氯化硅冷氢化技术研究进展

摘要

四氯化硅的氢化方法有很多,其中最常见的当属冷氢化法,也就是氯氢化法,一般采用流化床工艺,有着单套装置生产负荷较大的技术优势。随着冷氢化装置规模的扩大,关于四氯化硅的冷氢化生产工艺逐步优化,冷氢化技术应用效果加强,结合四氯化硅氢化工艺特点,了解冷氢化系统运行的影响因素,通过工艺流程、反应机理、反应条件、热量与能量利用的研究,了解四氯化硅冷氢化技术的发展趋势。