基干存储式高精度井温仪的微梁传感器设计

摘要

微梁传感器是一种微米级别的传感器,利用双材料梁的温变效应进行测量,当环境的温度发生变化时,由于两种材料热膨胀系数的不同而产生弯曲变形,测量此变形即可实现对温度的传感。微梁传感器对比传统铂电阻温度传感器具有精度更高的优点,利用该传感器设计一种高精度井温仪,有望在温度试井方面发挥作用。针对应用于存储式井温仪上的微梁温度传感器进行了优化设计,通过室内实验验证了其可行性。