纯铌表面多孔Nb2O5薄膜的制备

摘要

采用恒压阳极氧化法在室温下制备了多孔Nb2O5薄膜,研究了电解液种类和氧化电压对纯铌表面形成Nb2O5多孔薄膜形貌的影响.结果表明,以H2SO4/HF为电解液得到了20～30 nm孔道大小,排列较为规则的多孔薄膜,而以H3PO4/HF为电解液,阳极氧化1 h形成了沟状相连的多孔结构,这是由于孔壁被刻蚀,表面多孔结构被破坏所致.研究了在磷酸电解液中不同阳极氧化电压对薄膜形貌的影响.随着电压的增加,纯铌表面逐渐形成纳米多孔结构,并最终在表面形成锥状形貌的氧化物.