大流量高纯氨气输送系统优化设计

摘要

文章根据氨气的相关特性和气体输送系统特点,对大流量超高纯氨气输送系统的工作原理、输送机理和系统设计进行了分析,针对现有技术存在的问题,对大流量超高纯氨气输送系统进行优化设计,可达到避免系统二次污染、确保流量稳定性和系统可靠性的目的。