材料表面形变应变场的光电检测新途径

摘要

目前为了精度地测量材料表面形变，应变场，正致力于完善在试件表面刻蚀１，０００－１０，０００线／的正交网络技术，这是件难度很大的具有一定限度的新技术，光刻线比线距宽时，由于使用效果不佳而失去意义。