远红外光光栅光谱仪测量误差分析

摘要

采用平面闪耀光栅作为光谱元件的远红外光谱测量原理,分析了四种主要的重复性误差:光栅常数制造误差、零点标定误差、转角测量误差、入射光束与衍射光束的夹角测量误差. 并分别以112.5μm、40.05μm、25μm和12μm的四种闪耀波长为例,计算出了它们的误差传递系数曲线,根据误差传递系数对光谱仪进行误差分配,分析和计算表明:当光栅转角测量精度为1',光栅常数误差为0.5μm时,光谱仪可以满足λ/100的波长测量误差要求和λ/200的波长重复性测量误差要求.